手持光谱仪是一种基于xrf光谱分析技术的光谱分析仪器。当能量高于原子内部电子结合能的高能x射线与原子碰撞时，内部电子被排出，出现空穴，使整个原子系统处于不稳定状态。当手持光谱仪外壳中的电子转变为空穴时，就会产生光电子。
当手持光谱仪的外层电子跃入内孔时，释放的能量不被原子吸收，而是以光子的形式释放出来，产生能量等于两者能量差的x射线荧光。两个分子的两个能级。只要手持光谱仪测量荧光x射线的波长，就可以知道元素的类型。这是荧光x射线定性分析的基础。此外，荧光x射线的强度也与相应元素的含量有一定的关系。
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